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白光干涉测量模组WeiMi01BG

选配高精度压电陶瓷,可在高度方向实现纳米级精度测量

高度集成化模组,便于多种场景的视觉系统集成


仪器特点

WeiMi01BG白光干涉测量模组,白光干涉仪,广泛应用于消费电子类、半导体封装、超精密加工(机械、光学)、微纳材料等各大领域精密零部件之重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸等检测,如智能电子产品的玻璃外壳、超光滑薄片(如home键里的薄片、手机摄像头里面的薄片)等产品检测。高品质激光检测仪,实现纳米级精度测量!

 

■ 白光干涉和多角度共路照明相结合,照明和成像光线方向一致。创新算法和高度匀速位移台的匹配,实现连续3D成像。

■ 使用进口130万像素相机和GPU优化算法,实现大数据量实时运算。

■ 选配高精度压电陶瓷,可在高度方向实现纳米级精度测量。

■ 高度集成化模组,便于多种场景的视觉系统集成。

■ 产品可用于高度、表面角度、平面度、厚度、体积、颜色相近表面区分等场景的测量。


型号参数

仪器型号

WeiMi01BG

横向分辨率

1280x1024

外观尺寸(mm)

280x166x84.5

横向最小分辨率

6um*6um

高度分辨率

0.5um

高度重复精度

1.5um

模组自带量程

12mm (可通过外加位移台拓展)

视场区城

7.5mm*6.0mm

重量

3.6Kg

工作距离

58mm

数据接口

USB 3.0

电源

AC 220V 50HZ

测量速度

(高度方向扫描速度)

(222x p)um/s@分辨率pum

如222um/s@分辨率1um、444um/s@分辨率2um


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